1. Metal Ions Detection　金属イオン分析

当社はPPT (Parts Per Trillion)クラスの金属イオン分析をおこない、各種フィルタの金属イオンの析出状況を分析するため、或いは薬液における金属イオンの含有量を直接分析するために、適切なフィルタ材料およびその浄化処理の程度を決めるか、或いは更に一歩進み帯電膜により金属イオン吸着を行うかを決めます。

2. CMP Slurry Particles Detection　CMP 研磨液における顆粒分布分析

当社は先進的なNICOMP PSS 計器を使用して、CMP研磨液を分析、またはスラリーにおける下流分析をおこないます。例えばCMP研磨液における各種サイズ、形態におけるコロイドポリマー粒径の分布を分析します。分析範囲は6nm~6µmで、ポリマー粒径のウエハー損傷関係を分析でき、また異なるサプライヤ製品に対するCMP slurryのろ過効果も分析できます。

3. Particle Material Detection　マイクロフリーエスペクトルにより不純物材料の分析

当社のMicro FT-IRマイクロフリーエスペクトルは粒径が極めて小さい不純物成分を分析し、当社の膨大なデータベースとアトラスの対比をおこない、お客様が汚染物の材質を確認し、そのソースを判断するサポートをします。

4. Particle Size Detection　不純物粒径分析（全チャンネル）

当社のRION精密レーザー顆粒計測機器は、液体における各種粒径の不純物を分析します。お客様の純粋または薬液における、0.04 µmから200 µmまでの不純物が一目で分かります。

5. 100,000X SEM analyses　10万倍率の電子顕微鏡による撮影分析

当社は10万倍率に達するSEM顕微鏡による分析を提供し、濾過膜の構造を理解する、製造工程での細菌の有無を判断する、不純物の形態を観察するなどといったお客様のご要望に応じ、当社はこの高倍率顕微鏡による撮影分析サービスを提供し、問題の本質を見つけ出すサポートをします。

6. LC-UV (PDA)　フルバンド液体クロマトグラフによる有機溶質物質の検出

お客様が半導体およびバイオ製薬産業に従事している場合、有機溶出には最も厳しい要求がなされます。当社のフルバンド液体クロマトグラフは、お客様の有機溶液、薬液の成分と含量、またはフィルタその他の部品の有機溶出物の分析をアシストすることができます。また当社の機器はマルチチャンネル設計によるUVスキャナとしても機能し、同時に素早く多種の分析物を調べ、高感度で安定したパフォーマンスを提供しています。

7. Filter Integrity Test Equipment　各種フィルタの完全性テスト

当社では気泡点測定、拡散流量測定、圧力保持測定、水侵入測定等を含むフィルタの完全性の分析を正確におこなうことができ、お客様がご使用になるフィルターの濾過膜自身または組み立てプロセスにおける瑕疵発生の有無について調べます。

当社は微生物培養分析菌種によりガスクロマトグラフ質量分析、非揮発性残留物の分析、総有機炭の分析、フィルタ内の不純物流出分析、細菌挑戦性テスト、濾過膜孔径分布分析、フィルターの完全性テストなど、50項目を超える特定の分析事項をおこなっています。「力晰社の濾過分析概要表」をご参照ください。

直接当社の分析レポート（簡易版）をご参照いただけます。「REPORTS」画面をクリックしてください。